| รุ่น | RF-360 |
|---|---|
| ระบบไฟ | 220V / 380V 50-60Hz |
| กำลังไฟ | 4.5 kW |
| ขนาดรองรับ/ขนาดอุโมงค์ | 100-360 x 40-240 x 20-110 mm |
| ขนาดเครื่อง | 2600 x 1100 x 1850 mm |
| น้ำหนักเครื่อง | 800 kg |
| แรงดันสัมบูรณ์ต่ำสุด | 0.1 Pa |
| ขนาดอ่างสุญญากาศ | 765 × 625 × 160 มม. |
| จำนวนแท่งซีล | 2 แท่ง ยาว 700 มม. กว้าง 10 มม. |
| อัตราการดูดของห้องสุญญากาศ | 60 m³/h |
| ไฟฟ้า | 380V / 50Hz |